a、 電阻率/電導(dǎo)率（反映無(wú)機(jī)離子濃度）

b、 易氧化物/總有機(jī)碳（反映有機(jī)物濃度）

c、 蒸發(fā)殘?jiān)?不溶性硅（反映不溶性顆粒濃度）

d、 可溶性硅（半導(dǎo)體行業(yè)比較重視）

e、 微生物限度（微生物大多的是由管道、容器中產(chǎn)生）

蒸餾水是指用蒸餾方法制備的純水。利用水中各組分揮發(fā)度的差別，不揮發(fā)的組分殘留在容器中被除去，揮發(fā)的組分進(jìn)入蒸餾水的初始餾分中，通常只收集餾分的中間部分，約占60％。經(jīng)過(guò)一次蒸餾得到的水，含鹽量一般在1～5mg/L左右（電阻率0.1MΩ•cm左右），雖然那些不揮發(fā)的組分（鹽類）被除去，但水中揮發(fā)的組分（氨、二氧化碳、有機(jī)物）還是會(huì)進(jìn)入蒸餾水中。所以要得到更純的水：

a、可在蒸餾前加入堿性高錳酸鉀溶液，除去有機(jī)物和二氧化碳。

b、可在蒸餾前加入非揮發(fā)性的酸，使氨成為不揮發(fā)的銨鹽。

c、使用石英蒸餾器皿進(jìn)行二次（雙蒸水）或多次蒸餾，將所得純水保存在石英或銀制容器內(nèi)。

DI水是去離子水的縮寫，指除去了呈離子形式雜質(zhì)后的純水。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO/TC 147規(guī)定的“去離子"定義為：“去離子水wan全或不wan全地去除離子物質(zhì)，主要指采用離子交換樹(shù)脂處理方法。"

離子交換樹(shù)脂處理方法就是將水通過(guò)陽(yáng)離子交換樹(shù)脂（常用的為苯乙烯型強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂），則水中的陽(yáng)離子被樹(shù)脂所吸收，樹(shù)脂上的陽(yáng)離子H⁺被置換到水中，并和水中的陽(yáng)離子組成相應(yīng)的無(wú)機(jī)酸；含此種無(wú)機(jī)酸的水再通過(guò)陰離子交換樹(shù)脂（常用的為苯乙烯型強(qiáng)堿性陰離子）OH^-被置換到水中，并和水中的H⁺結(jié)合成水，此即去離子水。

單純應(yīng)用離子交換樹(shù)脂處理法雖然可去除水中的陰陽(yáng)離子，但水中仍然存在可溶性的有機(jī)物，會(huì)污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易滋生細(xì)菌。現(xiàn)在的工藝主要采用RO反滲透法、紫外氧化法等方法結(jié)合離子交換樹(shù)脂法的方式來(lái)提純水質(zhì)，Watbule Q11超純水機(jī)就是應(yīng)用了這一技術(shù)。

去離子水一般應(yīng)用于在半導(dǎo)體行業(yè)中，電阻率需大于0.5 MΩ·cm；而電阻率達(dá)到18MΩ•cm的去離子水被稱為“超純水"或是“18兆歐水"。Watbule Q系列超純水機(jī)所產(chǎn)超純水電阻率可以高達(dá)18.2MΩ•cm。

RO水是反滲透水縮寫，其生成的原理是水分子在壓力的作用下，通過(guò)反滲透膜成為純水，水中的雜質(zhì)被反滲透膜截留排出。

反滲水克服了蒸餾水和去離子水的許多缺點(diǎn)，利用反滲透技術(shù)可以有效的去除水中的溶解鹽、膠體，細(xì)菌、病毒、細(xì)菌內(nèi)毒素和大部分有機(jī)物等雜質(zhì)，但不同廠家生產(chǎn)的反滲透膜對(duì)反滲水的質(zhì)量影響很大。

RO水的水質(zhì)沒(méi)有明確規(guī)定，它取決于RO膜的脫鹽率。對(duì)于脫鹽率，在膜元件制造成形時(shí)就已確定，脫鹽率的高低取決于膜元件表面超薄脫鹽層的致密度，脫鹽層越致密脫鹽率越高，同時(shí)產(chǎn)水量越低。一般工業(yè)RO膜脫鹽率可以達(dá)到99.5%，而家用機(jī)RO膜脫鹽率一般在85%到90%之間，有的甚至低。

月旭科技的Watbule Q11就具有RO水制備功能，且脫鹽率也高于95%，標(biāo)配的水箱可儲(chǔ)備10升RO水，除了可以滿足客戶日常實(shí)驗(yàn)用水之外，還可以作為原料水再經(jīng)高純化柱和超純化柱制備超純水。

說(shuō)到這里，相信大家對(duì)于蒸餾水、DI水、RO水的概念已經(jīng)有了新的認(rèn)識(shí)，對(duì)于Watbule Q系列超純水機(jī)的功能也有了進(jìn)一步了解。